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碳化硅合成过程的技术
2017-06-29 11:56
碳化硅合成过程是一个复杂的过程,特别是在冶炼的中后期,是有液相和气相参与的反应。所以冶炼炉应该要有良好的透气性。如果炉体和炉料透气性太差,炉内会形成很高的正压。这种压力会大大降低炉内反应动力,使反应能力减小,反应速度下降。从而影响冶炼炉的产量和产品的质量。炉内的正压高,会使炉芯温度不正常迅速升高,炉料的区间温差梯度加大,会造成冶炼炉中间部位有分解温度,外层无再结晶温度,阻碍了反应向正方向发展。当炉内压力升到一定数值后,将会使碳化硅晶筒形成多硅结晶或富硅性熔体。

    由于透气不良造成的高压高热气体不能顺利转移到低温区,加快了炉芯部位碳化硅结晶的分解速度。由于大量分解,炉芯尺寸迅速扩大,必然使炉芯电阻很快变小,导致冶炼送电电流很快上升。使供电变压器的调压档位不够使用。逼迫提前退出运行,无法维持冶炼的正常进行。减少了送电量,即影响产品的产量又影响产品的质量。 

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